- 商品名稱:科晶 VTC-600-2HD型 雙靶 磁控濺射鍍膜機
- 商品型號:VTC-600-2HD
- 品牌:科晶KEJING
- 上架時間:2018-03-15
- 供貨商家:上海新諾儀器設備有限公司
- 相關型號: VTC-600-2HD VTC-600-3HD
沈陽科晶 VTC-600-2HD型 雙靶磁控濺射儀
儀器概述:
VTC-600-2HD 雙靶磁控濺射儀是新研制開發的鍍膜設備,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介質薄膜、光學薄膜、氧化物薄膜、硬質薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。與同類設備相比,其不僅應用廣泛,且具有體積小便于操作的優點,是一款實驗室制備材料薄膜的理想設備。
主要技術特點:
1、配置兩個靶槍,一個為配套射頻電源用于非導電靶材的濺射鍍膜,一個為配套直流電源用于導電類材料的濺射鍍膜。
2、可制備多種薄膜,應用廣泛。
3、體積小,操作簡便。
主要技術參數:
產品型號 | VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀 | ||
安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:設備配有自循環冷卻水機(加注純凈水或者去離子水) 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:設備腔室內需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶?6mm雙卡套接頭)及減壓閥 4、工作臺:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上 5、通風裝置:需要 | ||
技術參數 | 1、電源電壓:220V 50Hz 2、最大功率:<560W(不含真空泵) 3、極限真空度:< E-6mbar(配合本公司設備使用可達到 E-5mbar) 4、工作溫度:RT-500℃,精度±1℃(可根據實際需要提升溫度) 5、靶槍數量:2個(可選配其他數量) 6、靶槍冷卻方式:水冷 7、靶材尺寸:?2″,厚度0.1-5mm(因靶材材質不同厚度有所不同) 8、直流濺射功率:500W(可選) 9、射頻濺射功率:300W/500W(可選) 10、載樣臺:?140mm 11、載樣臺轉速:1rpm-20rpm內可調 12、保護氣體:Ar、N2等惰性氣體 13、進氣氣路:質量流量計控制2路進氣,每個流量為100SCCM | ||
產品規格 | 1、主機尺寸:500mm×560mm×660mm 2、整機尺寸:1300mm×660mm×1200mm 3、重量:160kg | ||
標準配件 | 1 | 直流電源控制系統 | 1套 |
2 | 射頻電源控制系統 | 1套 | |
3 | 膜厚監測儀系統 | 1套 | |
4 | 分子泵(德國進口) | 1臺 | |
5 | 冷水機 | 1臺 | |
6 | 冷卻水管(?6mm) | 4根 | |
可選配件 | 金、銦、銀、白金等各種靶材 |
操作視頻:
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