沈陽科晶 EQ-TM106型 膜厚監測儀
儀器概述：
EQ-TM106膜厚監測儀是采用石英晶體振蕩原理，結合先進的頻率測量技術，進行膜厚的在線監測。主要應用于MBE、OLED熱蒸發、磁控濺射等設備的薄膜制備過程中，對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監測。根據實時速率可以輸出PWM模擬量，作為膜厚傳感器使用，與調節儀和蒸發電源配合實現蒸發源的閉環速率控制。
主要技術特點：
1、本機可與計算機連接。
2、顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優點，可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM控制輸出的百分比等工作狀態。
3、通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數、輸出量程及通訊參數等進行設置，并可將所測相關數據寫入Excel文件。
4、具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優點。
主要技術參數：
產品型號 | EQ-TM106 膜厚監測儀 | ||
技術參數 | EQ-TM106-1監測組件 1、電源：DC 5V（±10%），最大電流400mA 2、頻率分辨率：±0.03Hz 3、膜厚分辨率：0.0136?（鋁） 4、膜厚準確度：±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置，材料應力，溫度和密度 5、測量速度：100ms-1s/次，可設置 6、測量范圍：500000?（鋁） 7、標準傳感器晶體：6MHz 8、計算機接口：RS-232/485串行接口 （波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置，數據位：8，停止位：1，校驗：無） 9、模擬輸出：8比特分辨率，PWM脈寬調制輸出（集電極開路或內部5V輸出） 10、工作環境：溫度0-50℃，濕度5%-85%RH，不得有冷凝水珠 11、外形尺寸：90mm×50mm×18mm | ||
EQ-TM106-2顯示儀 1、輸入電源：AC 220V±10% 2、輸出電源：DC 5V 3A 3、顯示器：12×2數碼管與LED 4、通訊端口：RS-485 （波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置，數據位：8位，停止位：1位，奇偶校驗：無） 5、外形尺寸：182mm×65mm×160mm | |||
EQ-TM106-3探頭 1、適用晶片頻率：6MHz 2、適用晶片尺寸：?14mm 3、安裝法蘭：CF35 4、冷卻水管：?3mm，長度300mm、500mm、1000mm 5、冷卻水壓：<0.3MPa 6、氣動擋板路管：?3mm 7、壓縮空氣壓力：<0.8MPa，>0.5MPa 8、烘烤溫度：通水狀態<200℃，不通水狀態法蘭<100℃ 9、電氣接口：BCN插座 | |||
標準配件 | 1 | EQ-TM106-1監測組件 | 1個 |
2 | EQ-TM106-2顯示儀 | 1臺 | |
3 | EQ-TM106-3探頭 | 1個 | |
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