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      首頁 > 機械設備及工具 > 金相設備 > 涂膜機 > 沈陽科晶 EQ-TM106型 膜厚監測儀

      科晶 EQ-TM106型 膜厚監測儀

      本機可與計算機連接。采用石英晶體振蕩原理,結合先進的頻率測量技術,進行膜厚的在線監測

      售價 15000.00 立即詢價

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      • 商品型號:
        EQ-TM106
      • 商品品牌:
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      • 更新時間:
        2018-05-21
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      • 商品名稱:科晶 EQ-TM106型 膜厚監測儀
      • 商品型號:EQ-TM106
      • 品牌:科晶KEJING
      • 上架時間:2018-03-15
      • 供貨商家:上海新諾儀器設備有限公司
      • 相關型號: EQ-TM106

      沈陽科晶 EQ-TM106型 膜厚監測儀


      儀器概述:

          EQ-TM106膜厚監測儀是采用石英晶體振蕩原理,結合先進的頻率測量技術,進行膜厚的在線監測。主要應用于MBE、OLED熱蒸發、磁控濺射等設備的薄膜制備過程中,對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監測。根據實時速率可以輸出PWM模擬量,作為膜厚傳感器使用,與調節儀和蒸發電源配合實現蒸發源的閉環速率控制。


      主要技術特點:

        1、本機可與計算機連接。

        2、顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優點,可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM控制輸出的百分比等工作狀態。

        3、通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數、輸出量程及通訊參數等進行設置,并可將所測相關數據寫入Excel文件。

        4、具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優點。


      主要技術參數:

      產品型號

      EQ-TM106 膜厚監測儀

      技術參數

      EQ-TM106-1監測組件

      1、電源:DC   5V(±10%),最大電流400mA

      2、頻率分辨率:±0.03Hz

      3、膜厚分辨率:0.0136?(鋁)

      4、膜厚準確度:±0.5%,取決于過程條件,特別是傳感器的位置,材料應力,溫度和密度

      5、測量速度:100ms-1s/次,可設置

      6、測量范圍:500000?(鋁)

      7、標準傳感器晶體:6MHz

      8、計算機接口:RS-232/485串行接口

        (波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置,數據位:8,停止位:1,校驗:無)

      9、模擬輸出:8比特分辨率,PWM脈寬調制輸出(集電極開路或內部5V輸出)

      10、工作環境:溫度0-50℃,濕度5%-85%RH,不得有冷凝水珠

      11、外形尺寸:90mm×50mm×18mm

      EQ-TM106-2顯示儀

      1、輸入電源:AC 220V±10%

      2、輸出電源:DC   5V  3A

      3、顯示器:12×2數碼管與LED

      4、通訊端口:RS-485

        (波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置,數據位:8位,停止位:1位,奇偶校驗:無)

      5、外形尺寸:182mm×65mm×160mm

      EQ-TM106-3探頭

      1、適用晶片頻率:6MHz

      2、適用晶片尺寸:?14mm

      3、安裝法蘭:CF35

      4、冷卻水管:?3mm,長度300mm、500mm、1000mm

      5、冷卻水壓:<0.3MPa

      6、氣動擋板路管:?3mm

      7、壓縮空氣壓力:<0.8MPa,>0.5MPa

      8、烘烤溫度:通水狀態<200℃,不通水狀態法蘭<100℃

      9、電氣接口:BCN插座

      標準配件

      1

      EQ-TM106-1監測組件

      1個

      2

      EQ-TM106-2顯示儀

      1臺

      3

      EQ-TM106-3探頭

      1個


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