- 商品名稱：科晶 GSL-1100X-SPC-16-3型 等離子三靶濺射儀
- 商品型號：GSL-1100X-SPC-16-3
- 品牌：科晶KEJING
- 上架時間：2018-03-16
- 供貨商家：上海新諾儀器設備有限公司
- 相關型號： GSL-1100X-SPC-16 GSL-1100X-SPC-16-3 GSL-1100X-SPC-16M GSL-1100X-SPC-16C
沈陽科晶 GSL-1100X-SPC-16-3型 等離子三靶濺射儀
儀器概述：
GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀是依據二極（DC）直流濺射原理設計而成的最簡單、可靠、經濟的鍍膜設備。本機特別之處是在一個真空室內安裝了三個靶，旋轉樣品臺可依次在同一樣品上涂覆三種材料。因此，適用于實驗室各種復合膜樣品的制備，以及非導體材料實驗電極的制作。
主要技術特點：
1、設有真空表、濺射電流表，可實時監控工作狀態。
2、通過調節濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得理想的鍍膜效果。
3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計，可保證長期使用不出現玻璃鐘罩崩邊現象。
4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經久耐用。
5、根據電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。
6、已通過CE認證。
主要技術參數：
產品型號 | GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀 | ||
安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥） 4、工作臺：尺寸600mm×600mm×00mm，承重50kg以上 5、通風裝置：不需要 | ||
技術參數 | 1、靶：?45mm 2、真空室：?160mm×120mm 3、最高真空度：≤4×10-2mbar 4、靶位：3個 5、最大電流：50mA 6、可設定最長時間：900s 7、微型真空氣閥：連接?3mm軟管 8、最高電壓：1600V DC 9、機械泵：2L/s | ||
標準配件 | 1 | 金靶材 | 1個 |
2 | 銅靶材 | 1個 | |
3 | 鋁靶材 | 1個 | |
4 | 進氣針閥 | 1個 | |
5 | 保險絲 | 2個 | |
可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 | ||
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