沈陽科晶 VTC-100PA型 真空旋轉涂膜機
儀器概述：
VTC-100PA型 真空旋轉涂膜機 適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。
主要技術參數：
產品型號 | VTC-100PA真空旋轉涂膜機 | ||
安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設備配有進出水口 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：不需要 4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 5、通風裝置：需要 | ||
主要特點 | 1、真空吸附方式固定樣件，操作簡便。 2、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動或飛片。 3、根據樣件規格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡單。 4、設有12組程序，每組包含6個運行階段。 5、電機啟動快速穩定，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。 6、真空度最大可以達到-0.08MPa。 | ||
技術參數 | 1、電機功率：350W 2、速度范圍：500rpm-10000rpm 3、程序運行：可儲存12組程序，每組程序包含6個運行階段 4、增減速率設置范圍：100rpm/s-2000rpm/s 5、時間范圍：0-60s 6、吸盤：?19mm、?60mm 7、本機可選配加熱功能：加溫范圍RT-100℃； 加熱蓋，水槽及吸盤采用耐高溫材質聚丙烯； 溫度單獨控制，與主機程序控制無關聯； | ||
產品規格 | 尺寸：450mm×280mm×340mm；重量：20kg | ||
標準配件 | 1 | 真空吸盤（含O型圈） | 2個 |
2 | 中心定位器（含4個定位柱） | 1個 | |
3 | 滴膠注射器（20ml） | 1個 | |
4 | 注射器支架 | 1個 | |
5 | 無油真空泵 | 1臺 | |
6 | 橡膠管（含卡箍） | 1根 | |
可選配件 | 過濾器（真空泵用） | ||
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