沈陽科晶 PCE-6V 小型等離子清洗機
儀器概述:
PCE-6V 小型等離子清洗機集成了RF等離子體發生技術、計算機控制技術、軟件編程技術,采用氣體作為清洗介質,有效地避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵,清洗腔內的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時間內徹底清洗掉有機污染物,清洗程度可達到分子級。另外,其樣品臺可選配加熱功能,可加負偏壓,用以實現離子蝕刻。此外,其可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。
主要技術特點:
1、采用氣體作為清洗介質,避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。
2、可短時間內徹底清洗掉有機污染物。
3、清洗程度可達到分子級。
4、可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。
5、清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性、相容性和浸潤性,并可消毒和殺菌。
6、樣品臺可選配加熱功能,可加負偏壓,用以實現離子蝕刻。
7、廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫學、微觀流體學等領域。
主要技術參數:
產品型號 | PCE-6V小型等離子清洗機 |
技術參數 | 1、電壓:AC220V 10A 2、消耗功率:<500W(包括真空泵) 3、RF電源:輸出功率100W,輸出頻率13.56MHz 4、腔體:?190mm×98mm 5、石英管:?180mm×55mm,壁厚7mm 6、內腔:?165mm×55mm 7、清洗電極:?120mm 8、樣品臺:?150mm,有效尺寸?140mm 9、樣品臺與電極間距:15mm-50mm可調 10、抽氣管:?12mm 11、極限真空度:0.1Pa 12、工作真空度:60Pa-500Pa 13、氣路數量:2路(選裝) 14、流量控制器數量:1、2 15、流量顯示儀:2通道 16、氣路接口:?6mm 17、加熱樣品臺:?140mm,加熱樣品溫度RT-600℃±1℃(選裝) 18、冷卻水壓力:0.2KPa-0.4KPa 19、工作環境:溫度5℃-35℃,濕度<80%(相對濕度)不結露,海拔高度0-2000m |
產品規格 | 1、尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵) 2、重量:20kg(不含真空泵) |
可選配置 | 1、加熱樣品臺 2、流量控制器(量程10、50、100,最多可增加2個通道) |
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