沈陽科晶 PCE-6 小型等離子清洗機
儀器概述：
PCE-6 小型等離子清洗機的等離子腔體為 ?160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率3.0MHz（ 1%），輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。
主要技術參數：
產品型號 | PCE-6小型等離子清洗機 |
主要特點 | 1、通過控制面板的按鍵及開關，可控制調節射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間。 2、時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數碼管上。 3、設有一個三通閥，可精確控制進氣流量，以及大氣流清洗腔體，進氣接口為6mm卡套接口。 4、選用大功率射頻電源設備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗。 |
技術參數 | 1、電源：AC220V 50/60Hz 2、輸出功率：7.2W、10.2W、29.6W 3、真空泵功率：<500W 4、總功率：<600W 5、射頻頻率：3.0MHz，功率3檔可手動調節 6、等離子腔體：高純石英腔體?160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進行密封，法蘭上設有?45mm 的觀察窗 7、真空泵：240L/min，直連式雙旋真空泵 8、極限真空度：50mtorr 9、通入氣體：可通入多種氣體來產生等離子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等（根據材料性質選定） |
清洗及蝕刻 |
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產品規格 | 1、尺寸：400mm×300mm×300mm 2、重量：10.2kg |
可選配件 | A、2"-6"石英舟（盛放基片） B、2-4通道質子或浮子混氣系統 |
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